無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度？主要作用和具體措施是什么？

潔凈車(chē)間和潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)你的加工工藝要求來(lái)確定。在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，潔凈廠房應(yīng)優(yōu)先考慮人的舒適性。隨著空氣凈化要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求越來(lái)越高，無(wú)塵凈化車(chē)間必須達(dá)到一定的溫濕度水平。

例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)之差越來(lái)越小。對(duì)于直徑為100um的硅片，當(dāng)溫度上升1度時(shí)，會(huì)引起0.24um。

所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?！穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

3潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。對(duì)于亂流潔凈室?由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求；

1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。
2.吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范））都是這樣規(guī)定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35?m/s

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