光學(xué)微電子凈化工程，定義為將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)的密閉空間。

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? 光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求更為迫切。如超大型積體電路的研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括:

1.?潔凈生產(chǎn)區(qū)

2.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3.管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息)

4.設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

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潔凈車間所需材料

1.?凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

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光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口。

組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

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優(yōu)點(diǎn):

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

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